Экспериментальная установка для измерения толщины тонких металлических пленок

Аннотация

Описана лабораторная установка, позволяющая экспериментально определить толщину тонкой металлической пленки. Предложенный метод измерения основан на зависимости фазовой скорости распространяющихся вдоль пленки гармонических антисимметричных волн Лэмба от ее толщины. Для измерения скорости применили непрерывный режим возбуждения акустических волн, что позволило исключить влияние дисперсии скорости волн Лэмба на точность измерения. Ключевые слова: волновое поле, скорость волны Лэмба, тонкие пленки, пьезодатчики.