Обнаружение подповерхностных микродефектов методом высокочастотной акустической микроскопии

Аннотация

Исследована возможность обнаружения подповерхностных дефектов в твердых телах методом сканирующей высокочастотной акустической микроскопии. Проведена оценка влияния искажения фокальной области, аберраций, возникающих при фокусировке под поверхностью твердого тела, на формирующийся выходной сигнал микроскопа с помощью математического моделирования преломления сфокусированных акустических пучков в твердом теле, а также экспериментально на лабораторном сканирующем акустическом микроскопе с частотой зондирующих акустических волн 400 МГц.