Устройство для одновременного визуального и теплового контроля изделий микроэлектроники

Аннотация

Рассмотрена задача одновременного визуального и теплового контроля микрообъектов. Для этого предложена и реализована зеркально-линзовая оптическая схема, не имеющая подвижных элементов и обеспечивающая одинаковый масштаб изображений в спектральных диапазонах 0,4-0,8 и 8-14 мкм. Изложена методика ее габаритного расчета. Описана экспериментальная установка на основе данной схемы и приведены результаты ее апробации на примере исследования изделий микроэлектроники.