Резонаторный свч-датчик для измерения параметров кремния “солнечного качества”

Аннотация

Исследованы неразрушающие СВЧ и оптические методы для бесконтактного локального измерения удельного сопротивления, времени жизни неосновных носителей заряда в моно- и поликристаллических полупроводниках, а также времени жизни в фотоэлектрическом преобразователе.