Определение толщины, электропроводности и энергии активации примеси полупроводниковых слоев по спектру отражения свч-излучения

Аннотация

Показана возможность определения проводимости, толщины и энергии активации примеси полупроводниковых слоев по результатам измерения частотной зависимости коэффициента отражения электромагнитного сверхвысокочастотного излучения при различных температурах. Приведена методика решения соответствующей обратной задачи.